Vaisala PTB210 (analog) Manual do Utilizador descarregar pdf (Página 8)

РАЗДЕЛ 2 __________________________________________________________ОПИСАНИЕ ПРОДУКТА

VAISALA __________________________________________________________________________ 3

Барометры PTB210 оснащены кремниевым емкостным датчиком

абсолютного давления BAROCAP

, разработанного Vaisala.

Датчик характеризуется незначительным гистерезисом,

отличными характеристиками сходимости, а также обладает

превосходной температурной и долговременной стабильностью.

Thin film metallization

Silicon

Vacuum gap

Silicon

Glass

Silicon diaphragm

Рисунок 2 Датчик давления BAROCAP

Датчик давления BAROCAP

состоит из двух слоев

однокристального кремния, между которыми лежит слой стекла.

Более тонкий слой кремния создает интегрированную вакуумную

эталонную камеру, и формирует чувствительную к давлению

кремниевую диафрагму. Более толстый слой кремния является

твердой пластиной-основой датчика, и покрыт стеклянным

диэлектриком. Для формирования электрода емкости внутри

вакуумной эталонной камеры вложена тонкая металлизированная

пленка. Другим электродом является чувствительная к давлению

кремниевая диафрагма.

Коэффициенты термического расширения кремния и стекла,

используемых в датчике давления BAROCAP

, тщательно

подобраны друг к другу с целью минимизировать температурную

зависимость и максимально увеличить долговременную

стабильность. Датчик давления BAROCAP

предназначен для

достижения нулевой температурной зависимости при 1000 гПа, а

его долговременная стабильность максимально увеличена за счет

термического старения при повышенной температуре.

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 ... 23 24

Sem comentários

Vaisala PTB210 (analog) Manual do Utilizador Página 8